膜厚计的类型

 

1.接触式膜厚计

在接触式膜厚计中，传感器部和膜厚计主体通过电缆连接，通过使传感器部与测定对象物接触来测定膜厚。接触式膜厚计有电磁感应式、过流式、超声波式、触针式等。它是最正统的膜厚计，根据性能的不同，可以以数万日元到20万日元的价格购买。

 

接触式膜厚计使用方便，通过将传感器部分接触到想要测量的物质来显示数值。但是，由于反应速度因物质而异，因此传感器部分可能需要等待几秒钟才能反应。使用电磁感应式和过电流式接触式膜厚计时，需要根据测量对象形成的基板来使用。

 

电磁感应型用于钢铁等磁性材料，过电流型用于铝、不锈钢等非磁性材料。此外，还提供使用两种方法进行测量的双型，并且通过双型，可以测量磁性材料和非磁性材料。

 

2.非接触式膜厚计

非接触式膜厚计通过从膜厚计本身发射光并检测从膜表面反射的光和穿透膜的光的波长干涉作为光谱来测量膜厚。基本上，它们用于人们无法触及的地方，包括反射光谱型、红外型、电容型和辐射型。由于检测部分采用高精度半导体元件，因此比接触式成本更高。

 

3.断面观察式膜厚计

截面观察型膜厚计是TEM、SEM等电子显微镜。它用于测量无法使用接触或非接触方法测量的极小物质。然而，它通常用于研究和技术开发，很少在现场使用。