FE-3000L反射式膜厚测量仪

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  • FE-3000L反射式膜厚测量仪
  • OTSUKA大塚
  • FE-3000L
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  • 主要测量透过率、反射率测量、膜厚测量。 量测范围:玻璃上的二氧化钛膜厚、膜质分析。

产品详细介绍

OTSUKA大塚反射式膜厚测量仪FE-3000L;

对应样品尺寸200X200mm  附有falt film用加载治具。

主要测量透过率、反射率测量、膜厚测量。

量测范围玻璃上的二氧化钛膜厚、膜质分析

 

产品特点

非接触式、不破坏样品的光干涉式膜厚计。

高精度、高再现性量测紫外到近红外波长反射率光谱,分析多层薄膜厚度、光学常数(n:折射率、k:消光系数)

宽阔的波长量测范围。(190nm~1100nm)

薄膜到厚膜的膜厚量测范围。(1nm~250μm)

对应显微镜下的微距量测口径。

 

规格:

 

标准型

厚膜专用型

膜厚量测范围

1 nm ~ 40 μm

0.8m ~250m

波长量测范围

190 ~ 1100 nm

750 ~ 850 nm

感光元件

PDA 512ch(电子制冷)

CCD 512ch(电子制冷)

PDA 512ch(电子制冷)

光源规格

D 2(紫外光)I 2(可见光)D 2 +I 2(紫外-可见光)

I 2(可见光)

电源规格

AC100V±10V 750VA(自动样品台规格)

尺寸

481(H)×770(D)×714(W)mm(自动样品台规格之主体部分)

重量

96kg(自动样品台规格之主体部分)

 

应用范围:

■ FPD
LCDTFTOLED(有机EL)
半导体、复合半导体
・矽半导体、半导体雷射、强诱电、介电常数材料
资料储存
DVD、磁头薄膜、磁性材料
光学材料
・滤光片、抗反射膜

平面显示器
・液晶显示器、薄膜电晶体、OLED
薄膜
AR

其它
・建筑用材料