SANKO山高研究所 薄膜厚度计的类型

薄膜厚度计可分为三种类型：接触式、非接触式和横截面观察式。

1. 接触式薄膜厚度计

接触式薄膜测厚仪的传感器通过电缆连接到测厚仪本体，测量厚度时，传感器需与被测物体接触。接触式薄膜测厚仪包括电磁感应式、过电流式、超声波式和触针式等。最常见的类型是接触式，根据性能不同，价格从数万日元到20万日元不等。

使用接触式薄膜厚度计非常简单；只需将传感器接触待测材料，即可显示读数。但是，由于不同材料的反应速率不同，您可能需要等待几秒钟才能看到传感器的反应。使用电磁感应式或过电流式接触薄膜厚度计时，需要根据被测材料所形成的基材选择合适的类型。

电磁感应法用于测量铁、钢等磁性材料，而过电流法用于测量铝、不锈钢等非磁性材料。市面上也有可同时使用这两种测量方法的双用途仪表，可以测量磁性材料和非磁性材料。

2. 非接触式薄膜厚度计

非接触式薄膜厚度计通过测量薄膜厚度，其原理是从测量仪本体发射光，并检测薄膜表面反射光和穿透薄膜的光的光谱干涉。它们主要用于人难以触及的部位，并有多种类型，包括反射光谱仪、红外式、电容式和辐射式等。由于其检测部分采用高精度半导体元件，因此比接触式薄膜厚度计价格更高。

3. 横截面观察式薄膜厚度计

横截面观察式薄膜厚度计是透射电镜（TEM）和扫描电镜（SEM）等电子显微镜。它们用于测量接触式或非接触式方法无法测量的极薄材料。然而，它们主要用于研究和技术开发，很少应用于实际现场应用中。